溫控探針冷熱臺(tái)是為液晶研究而設(shè)計(jì)的，為了給樣品施加電場(chǎng)或測(cè)量樣品的信號(hào)，在常規(guī)設(shè)備的基礎(chǔ)上增加了內(nèi)部電極，并配有液晶池和專(zhuān)用送樣器。同時(shí)由于熱臺(tái)腔室的密閉性，可以控制腔室內(nèi)的環(huán)境氛圍，如濕度、真空或通入內(nèi)部氣體，并可將熱臺(tái)與紅外及X射線(xiàn)衍射設(shè)備聯(lián)用。它主要應(yīng)用于礦物中流體包裹體及熔融包裹體，另可用于觀(guān)察各類(lèi)型材料。冷熱臺(tái)可在-190℃~600℃范圍內(nèi)控溫，允許光學(xué)觀(guān)察和樣品氣體環(huán)境控制。

 

　　溫控探針冷熱臺(tái)采用自適應(yīng)PID算法，實(shí)現(xiàn)了高精度溫度定點(diǎn)控制以及高水平的溫度跟隨功能，可使微型平臺(tái)快速溫度均衡。

 

　　溫控探針冷熱臺(tái)各部件的作用：

　　1、樣品臺(tái)：是定位晶圓或芯片的部件設(shè)備。通常會(huì)依據(jù)晶圓的尺寸來(lái)設(shè)計(jì)大小，并配套了相應(yīng)的精細(xì)挪動(dòng)定位功用。

　　2、光學(xué)元件：這個(gè)部件的作用使得用戶(hù)可以從視覺(jué)上縮小察看待測(cè)物，以便準(zhǔn)確地將探針對(duì)準(zhǔn)并放置在待測(cè)晶圓/芯片的測(cè)量點(diǎn)上。有的采用平面變焦顯微鏡，有的采用數(shù)碼相機(jī)，或許兩者兼有。

　　3、操縱器：探針臺(tái)運(yùn)用操縱器將探針?lè)胖迷诒粶y(cè)物上，它可以很容易地定位探針并疾速固定它們。通常運(yùn)用磁鐵或真空把它們固定在適當(dāng)?shù)牡匚?。一旦固定，操縱器可以在X、Y和Z方向上精確定位探針，并且在某些狀況下提供旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。

　　4、探針：主要分普通DC測(cè)試探針、同軸DC測(cè)試探針、有源探針和微波探針等。它的尺寸和資料取決于被探測(cè)樣品的尺寸和所需測(cè)量類(lèi)型決定的。其針尖直接接觸被測(cè)樣品，針臂應(yīng)與針尖配合使用。

　　5、射頻探針：射頻探針的實(shí)質(zhì)為適配器，將芯片測(cè)量接口轉(zhuǎn)為同軸或波導(dǎo)端口。罕見(jiàn)的射頻探針有GSG型、GS型、GSSG型等。射頻探針的主要參數(shù)有高工作頻率、探針針尖距等。目前，同軸接口的射頻探針頻率可達(dá)110GHz波導(dǎo)接口的射頻探針頻率高達(dá)1.1THz。

　　6、網(wǎng)絡(luò)分析儀：雖然傳統(tǒng)網(wǎng)絡(luò)分析儀也能無(wú)效地測(cè)量有源器件，例如放大器、混頻器和轉(zhuǎn)換器，但它們不能提供以后研發(fā)和消費(fèi)工程師所盼望的精度、易用性和速度。